設備故障診斷系統(tǒng)資訊：壓電MEMS無線振動傳感器的仿真設計發(fā)展以及管理系統(tǒng)集成

麥姆斯咨詢：本文為OnScale與Mentor合作推出，由行業(yè)專家撰寫，文章詳細介紹了壓電MEMS超聲波換能器產(chǎn)品的設計過程，包括傳感器的仿真、設計以及它與整個系統(tǒng)的集成。設備故障診斷系統(tǒng)具有緩變信號（如溫度、壓力、轉速、流量等）與動態(tài)信號（如振動信號）的數(shù)據(jù)融合處理功能；具有黑匣子記錄功能；系統(tǒng)滿足車輛振動沖擊環(huán)境下的使用要求。電渦流位移傳感器能靜態(tài)和動態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測量被測金屬導體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計量工具。一體化振動變送器將壓電傳感器和精密測量電路集成在一起，實現(xiàn)了傳統(tǒng)“傳感器+信號調(diào)理器”和“傳感器+監(jiān)測儀表”模式的振動測量系統(tǒng)的功能；適合構建經(jīng)濟型高精度振動測量系統(tǒng)。

了解系統(tǒng) 我們正在開發(fā)一種槽罐液位監(jiān)測系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以安裝在啤酒廠、釀酒廠和其他飲料廠的物聯(lián)網(wǎng)邊緣設備中，用以收集液位的狀態(tài)，并可主動通知技術人員是否存在任何問題（例如泄漏）。我們對系統(tǒng)了改良（圖1），利用壓電MEMS超聲波換能器（PMUT）來監(jiān)測水箱中的液位，并定期將測量結果上傳到網(wǎng)關設備中。 圖1：槽罐液位監(jiān)測系統(tǒng)框圖 壓電MEMS超聲波換能器在罐體中發(fā)射超聲波，然后測量被液體表面反射的波，從而得到一個很小的模擬機械波（需要放大）。發(fā)射波與反射波之間的時間差與液體的距離成正比。模擬前端（AFE）將MEMS波形放大并將信號轉換為表示飛行時間（或液體深度兩倍）的積分電壓。模數(shù)轉換器（ADC）將該電壓轉換成數(shù)字信號，以作為運行軟件的微控制器的輸入。時鐘、PLL和振蕩器電路是數(shù)字電路的支持模塊，偏置電流發(fā)生器、電壓調(diào)節(jié)器和帶隙基準是模擬電路的支持模塊。射頻（RF）發(fā)送器將數(shù)據(jù)發(fā)送到網(wǎng)關。Arm Cortex-M3微控制器與模擬電路和RF發(fā)送器相連。如果將來我們計劃增加振動故障診斷監(jiān)測系統(tǒng)，還需要多路復用器，但對于本白皮書，我們不考慮這兩個元素。 了解傳感器 據(jù)麥姆斯咨詢介紹，超聲波換能器使用超聲波來探測傳感器與其他物體之間的距離。它們能夠將電能轉換為機械能，并且在大多數(shù)情況下，還能將機械能轉換回電能。正是這種功能的二元性使得超聲波換能器可以向物體或界面發(fā)射壓力波，并可以在這些波被反射回源時探測它們。雖然在日常生活中有著廣泛的應用，但與其它競爭技術相比，傳統(tǒng)的超聲波換能器更笨重、更耗電、更昂貴。這限制了它們的應用，特別是在消費領域，但這種情況由于MEMS技術的應用而正在快速改變。 即將上市的新一代小型化超聲波換能器的功耗比前代產(chǎn)品低了一個數(shù)量級。沒有什么比當前我們開發(fā)并實施在系統(tǒng)中的PMUT更合適的例子了。PMUT由一個懸浮在腔體上的壓電薄膜組成，壓電薄膜通常為鋯鈦酸鋅（PZT）或氮化鋁（AlN）材料。當在膜上施加電脈沖時，膜會振動并直接在它接觸的介質中產(chǎn)生聲波。當設計剛好為共振頻率時，PMUT可以用非常小的功率產(chǎn)生大量的能量。圖2顯示了PMUT橫截面示意圖，可以調(diào)整膜厚度和直徑大小來優(yōu)化給定介質的共振頻率。